打破国际垄断,做中国自己的高端制造

  上海微电子装备有限公司(展位号:5.2H-E128)致力于大规模工业生产的投影光刻机研发、生产、销售与服务,公司产品可广泛应用于IC制造与先进封装、MEMS、3D-TSV、TFT-OLED、LED、Power Devices等制造领域。

  G4.5代高分辨率TFT投影曝光机

  本产品为G4.5代高分辨率TFT投影曝光机,用于平板显示行业屏幕制造中的曝光工艺。本产品属于国内首创产品,打破了被国外少数厂商垄断局面。本机台分辨率达到2微米以下,达到国际先进水平,满足面板制造高分辨率曝光的需要,目前本产品已经有若干台在客户方使用。本机台采用扫描曝光方式,曝光的同时实现调焦调平,优于其它同类竞争产品的步进曝光方式。同时具有低掩模使用成本,和可无拼接实现高分辨率的12寸屏曝光等优势。